ACTIVIDADES

El Grupo MEMS realiza tareas de investigación aplicada, desarrollo tecnológico y formación de recursos humanos en dispositivos microelectromecánicos (MEMS) y sus aplicaciones.

El objetivo global del proyecto “Dispositivos MEMS” es crear una capacidad permanente en CNEA, aprovechando la experiencia acumulada en desarrollos tecnológicos afines, para el diseño y fabricación de dispositivos del tipo Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS). Desde abril de 2001, este proyecto está en ejecución en el Programa 6 (actividad presupuestaria 63).

Se apoya en las estructuras de I+D existentes en la Unidad de Actividad Física y la Unidad de Actividad Materiales del CAC, con la colaboración de otras unidades como Química, y otras instituciones, con las cuales se tiene convenios, como CITEFA (Laboratorio de Semiconductores) y Universidad Nacional de General San Martín (Escuela de Ciencia y Tecnología, e Instituto de Biotecnología).

En particular, el Grupo MEMS del Centro Atómico Constituyentes de la CNEA, en colaboración con el grupo Semiconductores de CITEFA, trabaja desarrollando sensores de gas micro-maquinados para aplicaciones en narices electrónicas desde el año 1996, según el acuerdo específico existente entre los grupos de estas dos instituciones en la temática MEMS.

Desde 1997 se tiene un convenio de cooperación científica y tecnológica con el Istituto di Microsistemi e Microelectronica (IMM) del Consiglio Nazionale delle Ricerche (CNR) de Italia, en el tema de microsensores de gas para aplicaciones en monitores de gases y en narices electrónicas. El "Grupo MEMS" posee además convenios de cooperación con la empresa Technobiochip (Roma, Italia), pionera en narices electrónicas. En el año 2003 se inició la colaboración con el Centro Atómico Bariloche (CAB-CNEA) en la misma temática.

Desde el año 2003 el grupo posee dos proyectos financiados para realizar desarrollo tecnológico en narices electrónicas (PID 131-2001 con la empresa privada JPA S.A.) y en micro-sensores para aplicaciones espaciales (con la CoNAE).